CFU-
ケミカルクリーン
循環用SACCユニット、装置個別対応SACCユニット
SACCユニットは、SACCフィルタとファンを内蔵したケミカル汚染物質の除去装置です。クリーンルーム内の空気から、アンモニアやNOx、SOx、TVOCなどのケミカル汚染物質を効率よく吸着・除去します。
耐用年数が一般的なケミカルフィルタの約2倍と長いことや、様々なケミカル汚染物質に対して高い除去性能を有することから、半導体やフラットパネルディスプレイをはじめとする先端エレクトロニクス分野の事業者から高く評価されています。
仕様
| 形式 | CFU-500V10UP1-20 | CFU-600V12UP1-20 | CFU-600V12UTP1-20 |
|---|---|---|---|
| ユニット外形寸法 (mm) |
610W×610D×1,450H | 730W×610D×1,500H | 1220W×430D×1,500H |
| 処理風量(50Hz/60Hz) | 40/50 m3/min | 50/60 m3/min | 50/60 m3/min |
| SACC フィルタトレー |
10枚搭載 | 12枚搭載 | 12枚搭載 |
| SACC フィルタトレー寸法(mm) |
600W x 590D x 30T | 600W x 590D x 30T | 600W x 590D x 30T |
| 騒音値(50Hz/60Hz) | 59/64dB(A) | 64/67dB(A) | 65/66dB(A) |
| 電源入力 | 3Φ AC200V 50/60Hz | 3Φ AC200V 50/60Hz | 3Φ AC200V 50/60Hz |
| 消費電力 | 450/700W | 550/800W | 600/900W |
| ユニット重 量 (フィルタトレー含む) |
約100kg | 約120kg | 約140kg |
| 標準装備 | 吸込・吹出プレフィルタ (不織布) |
吸込・吹出プレフィルタ (不織布) |
吸込・吹出プレフィルタ (不織布) |
SACCフィルタ
| フィルタ種類 | アニオン | カチオン | TVOC | 混合(アニオン +TVOC) |
|
|---|---|---|---|---|---|
| 型番 | 標準(クラス100対応) | SCSA0610 | SCRA0610 | SCGA0610 | SCGSA0610 |
| 低発塵型(クラス10対応) | － | SCRACT0610 | SCGACT0610 | － | |
| 除去対象物質 | HCｌ | ◎ | ○ | ○ | |
| HF | ◎ | ○ | ○ | ||
| SOx | ◎ | ○ | ○ | ||
| NOx | ◎ | ○ | ○ | ||
| NH3 | ◎ | ||||
| TVOC (揮発性有機化合物) |
○ | ○ | ◎ | ○ | |
| シロキサン | △ | △ | ◎ | ○ | |
| アミン類 | △ | △ | ◎ | ○ | |
| O3 | ◎ | △ | ○ | ||
| B | ◎ | △ | ○ | ||
| P | ◎ | △ | ○ | ||
◎ : 主な除去対象物質
○ : 副次的な除去対象物質(中程度)
△ : 副次的な除去対象物質(小程度)
※ 目標とするケミカルクリーン性能に応じて、設置場所や台数、内蔵するSACCフィルタの種類や枚数などを最適化するエンジニアリングが必要です。