ULPAフィルタ(Ultra Low Penetration Airfilter)
0.15μmの粒子に対して99.999%以上の捕集率を有するもので、半導体の生産工場の様な高い清浄度が要求されるクリーンルームや生産装置等に使用される超高性能フィルタ。
クリーンルーム・ユニット用
- N-MP
- ニューミクロンフィルタ
- N-MP-S
- ニューミクロンSフィルタ
- N-MP-V
- ニューミクロンVフィルタ
- N-MP-Z
- ニューミクロンZフィルタ
- N-L-AFA
- ウルトラエクセルフィルタ
- N-L-A5FA
- ウルトラエクセルフィルタ
- N-LV-A6
- ウルトラエクセルVフィルタ
- N-LV-A8
- ウルトラエクセルVフィルタ
- FN-LV3-A
- フロロニューミクロンエクセルV3フィルタ
- FN-LV3-A5
- フロロニューミクロンエクセルV3フィルタ
- FN-LV3-A6
- フロロニューミクロンエクセルV3フィルタ