SC-
ケミカルクリーン
外調機用SACCフィルタ(ケミカルセルボックス組込)
SACCフィルタを空調機組込用にセルボックスへ収納した、ケミカル汚染物質除去用フィルタです。
外気処理や循環処理用として、アンモニアやNOx、SOx、TVOCなどのケミカル汚染物質を効率よく吸着・除去します。
耐用年数が一般的なケミカルフィルタの約二倍と長いことや、様々なケミカル汚染物質に対して高い除去性能を有することから、半導体やフラットパネルディスプレイをはじめとする先端エレクトロニクス分野の事業者から高く評価されています。
SACC:Super Clean & Airborne Molecular Contamination Control
仕様
処理風量 | 20 m3/min ~ 42 m3/min |
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フィルタ面風速 | 1.0 m/s ~ 2.0 m/s |
フィルタ種類 | アニオン(酸性ガス成分処理用) カチオン(アルカリ性ガス成分処理用) TVOC(揮発性有機化合物成分処理用) |
フィルタ形式 | マルチトレー方式 (10枚トレー/セルボックス) |
フィルタ外形寸法 (セルボックス) |
W610 x D610 x H610 |
フィルタトレー寸法 | W600 x D590 x T30 |
セルボックス材質 | 鋼板メラミン焼付塗装 |
フィルタトレー材質 | ABS樹脂一体成型 |
吸着剤仕様 |
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フィルタ重量 (セルボックス含む) |
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セルボックス(約27.5kg)+トレー×10枚 |
除去対象物質
フィルタ種類 | アニオン | カチオン | TVOC | 混合(アニオン +TVOC) |
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型番 | 標準(クラス100対応) | SCSA0610 | SCRA0610 | SCGA0610 | SCGSA0610 |
低発塵型(クラス10対応) | - | SCRACT0610 | SCGACT0610 | - | |
除去対象物質 | HCl | ◎ | ○ | ○ | |
HF | ◎ | ○ | ○ | ||
SOx | ◎ | ○ | ○ | ||
NOx | ◎ | ○ | ○ | ||
NH3 | ◎ | ||||
TVOC | ○ | ○ | ◎ | ○ | |
シロキサン | △ | △ | ◎ | ○ | |
アミン類 | △ | △ | ◎ | ○ | |
O3 | ◎ | △ | ○ | ||
B | ◎ | △ | ○ | ||
P | ◎ | △ | ○ |
◎ : 主な除去対象物質
○ : 副次的な除去対象物質(中程度)
△ : 副次的な除去対象物質(小程度)
TVOC:揮発性有機化合物
※ 目標とするケミカルクリーン性能に応じて、設置場所や台数、内蔵するSACCフィルタの種類や枚数を最適化するエンジニアリングが必要です。