スーパーエアシャワーとは
クリーンルーム内部でのじん埃や菌の最も大きな発生源は人間です。そのためクリーンルームの清浄度を高めても、そこに出入りする人間や、物の汚染管理が不十分だと効果は著しく低下することになります。
スーパーエアシャワーはクリーンルームの出入口に設置し、外部からのじん埃などの進入を防止する機器です。同時にクリーンルームと外部をエアロックする効果もあります。
機器の構造
各部の構造
スーパーエアシャワー室内
ジェットエア吹出口より23m/s以上の清浄空気が吹き出し、じん埃や細菌を払い落とします。
メインフィルタ(HEPAフィルタ)
HEPAフィルタ(0.3μm粒子にて99.97%以上の捕集効率)を使用して、スーバーエアシャワー内の微粒子を除去し清浄空気とします。
ジェットエアファン
スーパーエアシャワー室内に多量の清浄空気を循環させます。
プレフィルタ
不織布フィルタで空気中の粗大なじん埃を除去します。
型式表示
※簡易設置形スーパーエアシャワーはこの中に含まれません。
※組み合わせによっては生産できない型式もあります。詳しくは当社までお問い合わせください。
標準仕様
捕集効率(%) | 03μm粒子にて99.97以上 | |
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使用フィルタ | プレフィルタ | ※フィレドン PS/150N |
メインフィルタ | HEPAフィルタ | |
構造 | 本体 | 鋼板製焼付塗装仕上げ |
ドア | アルミ製(透明ガラス窓付) | |
床 | SUS304ヘアライン研磨(70mm上り) | |
塗装色 | 標準色:マンセル2.5Y9/1 半ツヤ | |
操作 | 照明灯スイッチ(ON OFF) 照明灯直付け | |
ジェットエア吹出時間設定範囲: 5~60s (タイマー内蔵) | ||
電源 | 3相 AC200V 50/60 Hz |
※日本バイリーン(株)製
※その他特注対応については、当社までお問い合わせください。